[发明专利]一种高通量非连续去湿性微图案基底的制备方法在审

专利信息
申请号: 201710235895.0 申请日: 2017-04-12
公开(公告)号: CN107084969A 公开(公告)日: 2017-08-22
发明(设计)人: 顾忠泽;曾易;高兵兵;杜鑫 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65;C03C17/36
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 代理人: 柏尚春
地址: 211189 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高通量非连续去湿性微图案基底的制备方法,包括以下步骤1)制备二氧化钛基底;2)将二氧化钛基底表面疏水处理,制备疏水涂层;3)在覆盖有疏水涂层的二氧化钛基底表面进行金属颗粒的沉积,清洗并干燥得到高通量非连续去湿性微图案基底。该方法利用对紫外光照的控制,可以一步法制备出具有表面增强拉曼散射效应的非连续去湿性微图案基底,用于表面增强拉曼散射检测,该制备方法简单,成本低廉,便于大规模生产。
搜索关键词: 一种 通量 连续 去湿性微 图案 基底 制备 方法
【主权项】:
一种高通量非连续去湿性微图案基底的制备方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:步骤一、制备二氧化钛基底:将二氧化钛水分散液或者二氧化钛前驱体溶液均匀地分散在洁净的载体玻片(4)上,制备均匀的二氧化钛涂层(3),经煅烧后得到二氧化钛基底;步骤二、将二氧化钛基底表面疏水处理:将步骤一得到的二氧化钛基底浸入到密闭容器中的疏水处理溶液中,加热反应后取出,经清洗、干燥得到覆盖有疏水涂层的二氧化钛基底;步骤三、金属颗粒的沉积:将步骤二得到的覆盖有疏水涂层的二氧化钛基底浸于金属盐溶液(2)中,紫外光通过光刻掩膜版(1)照射该覆盖有疏水涂层的二氧化钛基底,在紫外光照射的区域降解疏水涂层并均匀的沉积金属颗粒,反应结束后,取出沉积有金属颗粒的二氧化钛基底,经清洗、干燥得到高通量非连续去湿性微图案基底。
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