[发明专利]靶材组件的制造方法在审
| 申请号： | 201710236332.3 | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108687492A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;王利江 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供钛靶材的坯料以及背板，所述坯料具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；对所述焊接面进行车削加工，在所述焊接面上形成螺纹；将所述钛靶材的坯料与所述背板采用热等静压工艺焊接在一起，形成靶材组件。本发明制造方法形成的靶材组件质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材组件 坯料 焊接面 溅射面 钛靶材 背板 焊接 制造 热等静压工艺 车削加工 螺纹 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供钛靶材的坯料以及背板，所述坯料具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；对所述焊接面进行车削加工，在所述焊接面上形成螺纹；将所述钛靶材的坯料与所述背板采用热等静压工艺焊接在一起，形成靶材组件。
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