[发明专利]一种基于脊形光波导的SPR生化传感器

摘要

一种基于脊形光波导的SPR生化传感器，包括在同一SOI硅片上加工形成的SPR检测芯片与光纤支架、键合在芯片表面的聚合物形成的多个聚合物腔体、由聚合物腔体形成的微流道系统和在聚合物腔体中设置的光电探测器及检测电路，SPR检测芯片包括脊形光波导、样品池和金属薄膜，光纤通过经光纤支架与脊形光波导耦合，脊形光波导耦合到光电探测器及检测电路，脊形光波导的中段耦合到样品池，微流道系统连接样品池，金属薄膜与样品池内的样品直接接触，由脊形光波导的输入端传输的光经过金属薄膜反射后沿着脊形光波导出射，通过光电探测器及检测电路探测光强的变化并转换成电信号，实现对样品池内的样品检测。该传感器易于加工，灵敏度高，成本低。

主权项

一种基于脊形光波导的SPR生化传感器，其特征在于,包括在同一SOI硅片上加工形成的SPR检测芯片与光纤支架、键合在所述SPR检测芯片表面的聚合物形成的多个聚合物腔体、由所述多个聚合物腔体的一部分形成的微流道系统和在所述多个聚合物腔体的另一部分中设置的光电探测器及检测电路，所述SPR检测芯片包括脊形光波导、样品池和金属薄膜，光纤通过所述经光纤支架与所述脊形光波导的输入端的端面耦合，所述脊形光波导的输出端耦合到所述光电探测器及检测电路，所述脊形光波导的中段耦合到所述样品池，所述微流道系统连接所述样品池，用于更换所述样品池内的样品，所述金属薄膜与所述样品池内的样品直接接触，用于激发表面等离子体共振，由所述脊形光波导的输入端传输的光经过所述金属薄膜反射后沿着所述脊形光波导从所述脊形光波导的输出端出射，由所述光电探测器及检测电路探测光强的变化并转换成电信号，实现对所述样品池内样品有关成分或浓度的检测。