[发明专利]挡板和喷头组件及相应的制造方法

摘要

本发明涉及挡板和喷头组件及相应的制造方法。挡板组件包括挡板、环和支撑构件。挡板具有外径并且配置成将气体分配通过衬底处理系统的喷头组件的喷头。气体从喷头组件的杆接收。该环具有内径并且被配置为设置在喷头组件的环形通道中。所述内径大于挡板的外径。支撑构件从挡板延伸到环。环和支撑构件将挡板保持在喷头的顶板和底板之间的位置。

主权项

一种挡板组件，其包括：挡板，其具有外径并且被配置成将气体分配通过衬底处理系统的喷头组件的喷头，其中所述气体从所述喷头组件的杆接收；环，其具有内径并且被配置为设置在所述喷头组件的环形通道中，其中所述内径大于所述挡板的外径；以及多个支撑构件，其从所述挡板延伸到所述环，其中所述环和所述多个支撑构件将所述挡板保持在所述喷头的顶板和底板之间的位置。