[发明专利]等离子体化学气相沉积微波谐振腔及装置

摘要

本发明为一种等离子体化学气相沉积微波谐振腔，达到了提高谐振腔聚焦能力和配置灵活性的目的。该谐振腔包括两个顶部相交的等腰三角形布尔并集运算后形成的回转体，其中等腰三角形的底边边长为2nλ~（2n+0.5）λ，底角为50°~75°，两个等腰三角形的底边长相等或相差nλ，上等腰三角形的重心与下等腰三角形的重心间距为0~4/5λ，其中λ为微波波长。本发明利用了电磁波的反射和干涉原理，通过调节上、下等腰三角形的底边长、底边角度以及二者之间的中心距离形成强聚焦电场。同时，该谐振腔能够根据具体的应用选择不同的介质窗口、微波耦合方式以及反应气体进出方式，具有结构简单、方便灵活等特点。

主权项

1.一种等离子体化学气相沉积微波谐振腔，其特征在于：该微波谐振腔包括两个顶部相交的等腰三角形布尔并集运算后形成的回转体，该回转体内部形成上腔体（1）和下腔体（2），其中等腰三角形的底边边长为2nλ~（2n+0.5）λ，其中，n为整数，λ为微波波长，底角为50°~75°，两个等腰三角形的底边长相等或相差nλ，n为整数，上等腰三角形的重心与下等腰三角形的重心间距为0~4/5λ。