[发明专利]一种光子超颖表面生物传感器在审
申请号: | 201710246282.7 | 申请日: | 2017-04-15 |
公开(公告)号: | CN108732138A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 郑光召;曹暾;钟明军 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | G01N21/59 | 分类号: | G01N21/59 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 温福雪 |
地址: | 116023*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供一种光子超颖表面生物传感器。在玻璃衬底上利用材料生长工艺生长金属/介质/金属多层结构,其中顶层金属薄膜层采用干法或湿法刻蚀工艺制备超颖表面。在特定波长处,金属纳米阵列与介质层之间会产生非常强烈的局部表面等离子体共振。其透射光谱共振峰中心频率处的透射比对放置于结构表面的生物样本折射率的变化十分敏感,从而可以通过测量透射光谱共振峰中心频率处透射比值的大小实现对具有不同折射率的生物样本的检测。本发明具有体积小、结构简单、易于实现等突出优点,在生物医学领域有着非常广阔的应用前景,对生物传感器的发展也有着重要的意义。 | ||
搜索关键词: | 共振峰中心频率 表面生物 生物样本 透射光谱 折射率 传感器 光子 透射 材料生长工艺 等离子体共振 顶层金属薄膜 金属纳米阵列 生物医学领域 金属 生物传感器 多层结构 工艺制备 结构表面 局部表面 湿法刻蚀 介质层 体积小 干法 比对 衬底 测量 玻璃 敏感 生长 检测 应用 | ||
【主权项】:
1.一种光子超颖表面生物传感器,其特征在于,基于局部表面等离子体共振的光子超颖表面生物传感器是基于金属/介质/金属多层结构;所述的多层结构是在玻璃衬底(1)上依次生长金属薄膜层(2)、介质薄膜层(3)和周期性金属纳米阵列(4)而形成,其中,金属薄膜层(2)和介质薄膜层(3)是单层或是多层交替排列的形式;金属薄膜层(2)的宽度在1微米至2厘米、高度在10纳米至1微米;介质薄膜层(3)的宽度在1微米至2厘米、高度在10纳米至1微米;周期性金属纳米阵列(4)的宽度为10纳米至1微米、高度在10纳米至0.5微米,周期在100纳米至1微米。
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