[发明专利]电化学装置的微波快速热处理有效
| 申请号： | 201710248875.7 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN107256945A | 公开（公告）日： | 2017-10-17 |
| 发明（设计）人： | 宋道英;冲·蒋;秉-圣·利奥·郭 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01M4/04 | 分类号： | H01M4/04;H01M10/0585 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 微波辐射可应用到电化学装置，以快速热处理(RTP)(包括退火、结晶、致密化、形成等)电化学装置各层和装置堆叠，所述装置堆叠包括块体和薄膜电池和薄膜电致变色装置。制造电化学装置的方法可包含：沉积电化学装置层于基板上；及对所述层进行微波退火，其中微波退火包括选择退火条件，使所述层优先吸收微波能量。用于形成电化学装置的设备可包含：第一系统，所述第一系统用以沉积电化学装置层于基板上；及第二系统，所述第二系统用以对所述层进行微波退火，其中第二系统被配置以使所述装置层优先吸收微波能量。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 装置 微波 快速 热处理 | ||
【主权项】：
一种用于形成电化学装置的设备，所述设备包含：第一系统，所述第一系统用以沉积电化学装置层于基板上；及第二系统，所述第二系统用以对所述装置层进行微波退火，其中所述第二系统被配置以使所述层优先吸收微波能量。
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