[发明专利]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201710249337.X | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN106987798B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 孙中元;薛金祥;刘文祺 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘伟;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀膜装置，该镀膜装置包括：成膜辊，成膜辊的外周面上包括一预定区域，柔性基板的当前待镀膜部位能够卷绕在预定区域处；靶材，靶材设置在成膜辊一侧，并与成膜辊的预定区域位置对应；掩膜版，设置在靶材与成膜辊之间，掩膜版为曲面掩膜版，其曲面曲度与成膜辊的预定区域处的曲面曲度相同，掩膜版上设有第二对位标记；复眼摄像机，用于获取掩模版的第二对位标记及柔性基板的第一对位标记的位置信息；以及，控制机构，用于根据复眼摄像机获取的所述位置信息，控制掩膜版移动，以将掩膜版与柔性基板进行对位。本发明所提供的镀膜装置可直接利用曲面掩膜版在柔性基板上沉积图形化的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，用于在柔性基板上镀膜，所述柔性基板上设有第一对位标记；其特征在于，所述镀膜装置包括：/n成膜辊，所述成膜辊的外周面上包括一预定区域，所述柔性基板的当前待镀膜部位能够卷绕在所述预定区域处；/n靶材，所述靶材设置在所述成膜辊一侧，并与所述成膜辊的预定区域位置对应；/n掩膜版，设置在所述靶材与所述成膜辊之间，所述掩膜版为曲面掩膜版，其曲面曲度与所述成膜辊的预定区域处的曲面曲度相同，所述掩膜版上设有第二对位标记；/n复眼摄像机，用以获取所述掩膜版的第二对位标记及所述柔性基板的第一对位标记的位置信息；/n以及，控制机构，用于根据所述复眼摄像机获取的所述位置信息，控制所述掩膜版移动，以将所述掩膜版与所述柔性基板进行对位。/n
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