[发明专利]一种倒装LED芯片结构及其制作方法在审
申请号: | 201710251224.3 | 申请日: | 2017-04-18 |
公开(公告)号: | CN107086260A | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
发明(设计)人: | 王钢;劳裕钦;马学进;马艳飞;陈梓敏;范冰丰;闫林超 | 申请(专利权)人: | 中山大学;佛山市中山大学研究院 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/00 |
代理公司: | 广州圣理华知识产权代理有限公司44302 | 代理人: | 顿海舟,李唐明 |
地址: | 510260 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种倒装LED芯片结构及其制作方法。倒装LED芯片结构包括三维图形结构、蓝宝石衬底、半导体材料层、N电极、接触反射层、绝缘隔离层、P电极和焊接电极10;所述半导体材料层包括N型半导体材料、发光层和P型半导体材料。在蓝宝石衬底表面形成掩膜材料,再用光刻蚀刻的方法将光刻胶图案制作在掩膜上,蚀刻掩膜,去除光刻胶,在衬底表面形成三维图形结构掩膜层,再用蚀刻的方法在衬底表面形成三维图形结构,最后清除掩膜。本发明可以根据特定应用场景的光源要求,对倒装LED芯片的蓝宝石衬底出光面进行光学设计与加工,制作出单个的、周期性的或者非周期性的三维光学图形,从而实现所需的光源要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 倒装 led 芯片 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种倒装LED芯片,其特征在于:包括,三维图形结构、蓝宝石衬底、半导体材料层、N电极、接触反射层、绝缘隔离层、P电极和焊接电极;所述半导体材料层包括N型半导体材料、发光层和P型半导体材料;所述三维图形在所述蓝宝石衬底的上表面,所述发光层在所述N型半导体材料和所述P型半导体材料之间,所述P电极、N电极与所述焊接电极连接,所述接触反射层设置在所述P型半导体材料和所述P电极之间,所述焊接电极设置在所述倒装LED芯片最下端。
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