[发明专利]一种多量程的MEMS闭环加速度计

摘要

本发明公开了一种多量程的MEMS闭环加速度计，所述MEMS闭环加速度计包括：基片、敏感器件层，基片与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：固定框架、锚点、敏感质量块、多个折叠梁、多个固定检测梳齿、多个可动检测梳齿、多个固定平衡梳齿、多个可动平衡梳齿；多个固定平衡梳齿与多个可动平衡梳齿分别组成4组平衡梳齿对，分别构成：第一静电力矩器、第二静电力矩器、第三静电力矩器，可实现小中高多量程的应用，线性度好，灵敏度高，芯片尺寸小，易加工，制造成本低的技术效果。

主权项

一种多量程的MEMS闭环加速度计，其特征在于，所述MEMS闭环加速度计包括：基片、敏感器件层，基片与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：固定框架、锚点、敏感质量块、多个折叠梁、多个固定检测梳齿、多个可动检测梳齿、多个固定平衡梳齿、多个可动平衡梳齿；固定框架通过锚点固定在基片上，固定框架包括外部固定框架和内部固定框架，固定检测梳齿与可动检测梳齿一一对应，固定平衡梳齿与可动平衡梳齿一一对应；固定检测梳齿与外部固定框架连接，可动检测梳齿与敏感质量块连接；折叠梁一端与外部固定框架连接，折叠梁另一端与敏感质量块连接；敏感质量块内设有空腔，固定平衡梳齿和可动平衡梳齿均位于空腔内，固定平衡梳齿通过齿梳与内部固定框架连接，可动平衡梳齿通过齿梳与敏感质量块连接；多个固定平衡梳齿与多个可动平衡梳齿分别组成4组平衡梳齿对，分别为：第一组平衡梳齿对、第二组平衡梳齿对、第三组平衡梳齿对、第四组平衡梳齿对，其中，第一组平衡梳齿对与第二组平衡梳齿对关于X轴向对称，构成第一静电力矩器，第三组平衡梳齿对与第四组平衡梳齿对关于X轴向对称，构成第二静电力矩器，第一、三组平衡梳齿对与第二、四组平衡梳齿对分别并联后构成第三静电力矩器。