[发明专利]一种在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜及其制备方法，以硝酸铋、硝酸钬、硝酸锶、硝酸铁、醋酸锰和硝酸锌为原料(硝酸铋过量5％)，以乙二醇甲醚和乙酸酐为溶剂，用旋涂法和层层退火的工艺制备了在高电场下具有稳定铁电性的Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3铁电薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，并采用旋涂和层层退火法，设备要求简单，实验条件易于实现，适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜，且化学组分精确可控，制得的在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜均匀性较好，能够有效提高其耐击穿性能，提高其剩余极化值。

主权项

一种在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜，其特征在于，该薄膜为Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3薄膜，该薄膜为扭曲的菱方钙钛矿结构，空间群为三方相的R3m:R和R3c:H共存。