[发明专利]一种硬态光铝箔的腐蚀工艺方法在审
申请号: | 201710254301.0 | 申请日: | 2017-04-18 |
公开(公告)号: | CN107227485A | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 马坤松;相志明;黄少铭;吉民;韩枫 | 申请(专利权)人: | 扬州宏远电子有限公司 |
主分类号: | C25F3/04 | 分类号: | C25F3/04;C23G1/12;C23F17/00;H01G9/055 |
代理公司: | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙)32273 | 代理人: | 王华 |
地址: | 225600 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种硬态光铝箔的腐蚀工艺方法,包括前处理、一次交流腐蚀、中间处理、二次交流腐蚀、化学清洗、后处理和高温处理,其中在二次交流腐蚀的溶液中添加了磷酸缓冲保护剂,延长了电极板长度。本发明不仅提高了腐蚀效率,而且扩孔更加均匀合理,在保证了腐蚀箔机械性能的前提下进一步提高了腐蚀箔比容。 | ||
搜索关键词: | 一种 硬态光 铝箔 腐蚀 工艺 方法 | ||
【主权项】:
一种硬态光铝箔的腐蚀工艺方法,包含如下步骤:(1)将硬态铝箔置于氢氧化钠为0.3~12wt%的水溶液中,于温度40~80℃浸泡2~5分钟;(2)将上述步骤(1)处理后的铝箔置于硫酸为0.8~6wt%和盐酸为6~28wt%的混合水溶液中,于温度30~70℃,施加电流密度为10~80A/dm2的电流进行第一次交流腐蚀;(3)将上述步骤(2)中经过第一次交流腐蚀过的铝箔放在0.8~6wt%的硫酸与6~28wt%的盐酸混合液中,于温度50~90℃浸泡2~5分钟进行中间处理;(4)将上述步骤(3)处理过的铝箔置于0.8~6wt%硫酸、6~28wt%的盐酸和0.6~6wt%的三氯化铝混合液中,于温度20~50℃,施加电流密度为5~40A/dm2的电流进行第二次交流腐蚀;(5)将上述步骤(4)中经过第二次交流腐蚀过的铝箔置于硝酸为0.8~8wt%和硫酸为0.2~5wt%的混合液中,于温度10~50℃浸泡2~8min,进行化学清洗;(6)将上述步骤(5)中经过化学清洗过的铝箔用纯水冲洗后进行烘干;其特征在于:步骤(4)中第二次交流腐蚀的溶液中添加了磷酸缓冲保护剂。
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