[发明专利]一种多环境下片上系统的压电测试装置与测试方法

摘要

一种多环境下片上系统的压电测试装置与测试方法。本发明涉及一种多环境下片上系统的压电测试装置与测试方法。气管Ⅰ连通气管Ⅱ与气管Ⅲ，所述的气管Ⅱ与气管Ⅲ之间设置阀门Ⅰ，所述的气管Ⅱ与气管Ⅲ插入容器瓶内，所述的容器瓶的底部设置电热炉RS，所述的气管Ⅰ连通腔室的一侧，所述的气管Ⅰ靠近腔室的位置设置阀门Ⅱ；所述的腔室的另一侧连通气管Ⅳ，所述的气管Ⅳ靠近腔室的位置设置阀门Ⅲ，所述的气管Ⅳ的外端连接机械泵；所述的腔室的外表面设置显示屏，所述的腔室的底端设置可调节的电热阻丝RT，所述的显示屏的下方设置进仓门，所述的进仓门内装入样品台，所述的样品台上均布一组接线柱，所述的接线柱之间设置夹具。本发明用于压电测试。

主权项

一种多环境下片上系统的压电测试装置，其特征是：气管Ⅰ（14）连通气管Ⅱ（15）与气管Ⅲ（16），所述的气管Ⅱ（15）与气管Ⅲ（16）之间设置阀门Ⅰ（3），所述的气管Ⅱ（15）与气管Ⅲ（16）插入容器瓶（2）内，所述的容器瓶（2）的底部设置电热炉RS（1），所述的气管Ⅰ（14）连通腔室（13）的一侧，所述的气管Ⅰ（14）靠近腔室（13）的位置设置阀门Ⅱ（4）；所述的腔室（13）的另一侧连通气管Ⅳ（17），所述的气管Ⅳ（17）靠近腔室（13）的位置设置阀门Ⅲ（11），所述的气管Ⅳ（17）的外端连接机械泵（12）；所述的腔室（13）的外表面设置显示屏（10），所述的腔室（13）的底端设置可调节的电热阻丝RT（5），所述的显示屏（10）的下方设置进仓门（9），所述的进仓门（9）内装入样品台（6），所述的样品台（6）上均布一组接线柱（7），所述的接线柱（7）之间设置夹具（8），所述的夹具（8）与接线柱（7）间隔设置。