[发明专利]氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法有效
| 申请号： | 201710256274.0 | 申请日： | 2017-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN107304481B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 干川圭吾;小林拓实;大叶悦子;柳泽润 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人信州大学;不二越机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 晶体 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化镓晶体的制造装置，其为由垂直布里奇曼炉构成的氧化镓晶体的制造装置，该垂直布里奇曼炉具备：基体；配设于该基体上的具有耐热性的筒状的炉主体；使该炉主体闭塞的盖体；配设于所述炉主体内的发热体；贯通所述基体并以上下自由移动的方式设置的坩埚支承轴；和配设于该坩埚支承轴上并被所述发热体所加热的坩埚，所述氧化镓晶体的制造装置的特征在于，所述坩埚为Pt系合金制的坩埚，所述炉主体的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件层叠而成的耐热壁，并且，所述环状的耐热部件通过将两个以上的分割片接合而形成为环状。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国立大学法人信州大学;不二越机械工业株式会社，未经国立大学法人信州大学;不二越机械工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710256274.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：局部镀塑料制品
- 下一篇：高效优质制备蓝宝石条晶的装置
