[发明专利]应用于长波红外波段的双层光栅偏振器

摘要

本发明涉及偏振成像领域，为有效降低宽长波红外波段高性能偏振光栅的制作难度，本发明旨在提出将亚波长金属栅线下的电介质基底层进行过度刻蚀的方式，在光栅区形成金属/电介质双层材料的结构。本发明采用的技术方案是，应用于长波红外波段的双层光栅偏振器，包括透明基底、与透明基底同材料的厚度一致且排布均匀的凸起线条、厚度一致且排布均匀的金属线条，所述与透明基底同材料的凸起线条与金属线条在空间位置上仅有一个维度的区别，一个维度指线条厚度方向；所述与透明基底同材料的凸起线条与金属线条均与光栅所处空间介质构成周期固定、占空固定的脊状和沟槽状形貌，光栅周期小于入射波长。本发明主要应用于偏振成像场合。

主权项

一种应用于长波红外波段的双层光栅偏振器，其特征是，应用于长波红外波段的双层光栅偏振器，包括透明基底、与透明基底同材料的厚度一致且排布均匀的凸起线条、厚度一致且排布均匀的金属线条，所述与透明基底同材料的凸起线条与金属线条在空间位置上仅有一个维度的区别，一个维度指线条厚度方向；所述与透明基底同材料的凸起线条与金属线条均与光栅所处空间介质构成周期固定、占空固定的脊状和沟槽状形貌，光栅周期小于入射波长。