[发明专利]探针位置检查装置、半导体评价装置以及探针位置检查方法

摘要

目的在于，提供能够容易地且高精度地对半导体评价装置所具有的探针的位置进行检查的探针位置检查装置、具有该探针位置检查装置的半导体评价装置、以及使用了该半导体评价装置的探针位置检查方法。本发明所涉及的探针位置检查装置对半导体评价装置所具有的探针的位置进行检查，该探针具有相应于与被评价半导体装置的接触位置而形成磁场的检查用磁场形成单元，探针位置检查装置具有：基体部，其包含表面和多个磁传感器，该探针能够与该表面接触，该多个磁传感器设置于与该表面平行的面内，对由探针所具有的检查用磁场形成单元形成的磁场进行检测；以及输出部，其与上述磁传感器电连接，输出基于磁场的磁传感器的信号。

主权项

一种探针位置检查装置，其对半导体评价装置所具有的探针的位置进行检查，该探针位置检查装置的特征在于，所述探针具有检查用磁场形成部，该检查用磁场形成部相应于与被评价半导体装置的接触位置而形成磁场，所述探针位置检查装置具有：基体部，其包含表面和多个磁传感器，所述探针能够与该表面接触，该多个磁传感器设置于与该表面平行的面内，对基于所述检查用磁场形成部的磁场进行检测；以及输出部，其与所述磁传感器电连接，输出基于所述磁场的所述磁传感器的信号。