[发明专利]基于硅基纳米梁环路结构的粗波分复用器

摘要

一种基于硅基纳米梁环路结构的粗波分复用器及其应用，包括：纳米梁和定向耦合器，其中：纳米梁两侧分别与定向耦合器的两个波导相连，纳米梁为一根刻蚀有若干小孔的直波导，该纳米梁由两个反射镜形成一个法泊腔；通过改变纳米梁的腔长以改变粗波分复用器的中心波长和自由频谱范围。本发明避免了弯曲损耗，进一步减小了器件尺寸，实现了较大的FSR，因此适用于粗波分复用器。

主权项

1.一种基于硅基纳米梁环路结构的粗波分复用器，其特征在于，包括：纳米梁和定向耦合器，其中：纳米梁两侧分别通过一根波导与定向耦合器的两个波导相连，纳米梁为一根直波导，该直波导上通过刻蚀产生若干小孔，该纳米梁由两个反射镜形成一个法泊腔；通过改变纳米梁的腔长以改变粗波分复用器的中心波长和自由频谱范围；所述的粗波分复用器的透射函数t_T和反射函数t_R满足：其中：t₁和k₁为定向耦合器的传输系数和耦合系数，t₁²+k₁²＝1，a₁是波导的传输率，a₁＝exp(‑αl₁‑jβl₁)，α和β为波导的损耗系数和传播常数，β＝2πn_g/λ，t_FP和r_FP分别为一个纳米梁的透射函数和反射函数，l₁是波导的长度，n_g为群折射率，λ为波长。