[发明专利]一种减压扩散炉炉口的密封装置有效
申请号: | 201710259508.7 | 申请日: | 2017-04-20 |
公开(公告)号: | CN107090594B | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 吴俊旻;常青;扈静;闫涛;李家栋 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
主分类号: | C30B31/06 | 分类号: | C30B31/06;H01L21/223;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池板制造设备技术领域,尤其为一种减压扩散炉炉口的密封装置,包括石英管及炉门,炉门包括内层及外层,内层与外层间设有冷却腔,内层设有外圈及内圈,外圈及内圈之间设有放置槽,外圈装有密封圈,外圈另一侧设有卡槽,内层与外层在端面处设有回水腔,回水腔与冷却腔连通,冷却腔处设有进水口,回水腔处设有出水口,外层的端盖设有圆柱,端盖上还设有多个支撑杆,支撑杆通过销连接支撑爪,支撑爪的一端卡接于卡槽,另一端活动链接块,所述块设于圆管上,所述圆管套设在圆杆上,所述圆杆的一端与圆柱螺纹连接,另一端设有方形块。加强炉门的密封性及炉内温度平稳。 | ||
搜索关键词: | 内层 回水腔 冷却腔 炉门 减压 扩散炉 支撑杆 支撑爪 端盖 卡槽 炉口 内圈 圆杆 外圈装有密封圈 太阳能电池板 活动链接 圆柱螺纹 制造设备 出水口 端面处 方形块 放置槽 进水口 密封性 石英管 销连接 圆管套 卡接 炉内 圆管 连通 | ||
【主权项】:
1.一种减压扩散炉炉口的密封装置,包括石英管(1)及炉门(2),所述炉门(2)包括由螺栓(14)连接的内层(201)及外层(202),内层(201)与外层(202)在圆周连接处设有冷却腔(23),所述内层(201)在圆周处设有外圈及内圈(21),所述外圈及内圈(21)之间设有放置槽,外圈靠近放置槽一侧装有密封圈(4),其特征在于,外圈另一侧且靠近密封圈(4)处设有卡槽(22),内层(201)与外层(202)在端面连接处设有回水腔(231),所述回水腔(231)与冷却腔(23)连通,冷却腔(23)处设有进水口(12),回水腔(231)处设有出水口(13),所述外层(202)的端盖中间设有圆柱(25),所述端盖上绕圆柱(25)还设有多个支撑杆(24),所述支撑杆(24)活动连接支撑爪(6),支撑爪(6)的一端卡接于卡槽(22),另一端活动链接块(81),所述块(81)设于圆管(8)上,所述圆管(8)套设在圆杆(7)上,所述圆杆(7)的一端与圆柱(25)螺纹连接,另一端设有方形块(72)。
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