[发明专利]用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201710262126.X | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN106978589B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周炟;莫再隆;马群 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备。挡板装置包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。根据本发明的挡板装置，可避免因挡板上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源的周围而将蒸镀喷射源堵塞，进而避免因蒸镀喷射源被堵塞或部分堵塞而使得基板上镀层的均匀性受到影响。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 设备 挡板 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。
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