[发明专利]一种扩散装置和沉积腔室

摘要

本发明提供一种扩散装置和沉积腔室。该扩散装置用于对通过其中的气体进行扩散，包括：至少两个扩散板，至少两个扩散板之间相互间隔并相对应叠覆，每个扩散板上均开设有多个通孔，扩散板之间的间距和扩散板上通孔的分布密度均能够对应与分布在扩散装置入气侧的气体的分布密度相适配，以使通过扩散装置的气体均匀输出。该扩散装置通过设置至少两个扩散板，能使扩散板之间的间距和扩散板上通孔的分布密度对应与扩散装置入气侧的气体分布密度相适配，从而使通过扩散装置的气体的分布密度更加均匀，进而使沉积在基片上的膜层的厚度更加均匀，提高了膜层沉积在基片上所形成的产品的稳定性和良率。

主权项

1.一种扩散装置，用于对通过其中的气体进行扩散，其特征在于，包括：至少两个扩散板，至少两个所述扩散板之间相互间隔并相对应叠覆，每个所述扩散板上均开设有多个通孔，所述扩散板之间的间距和所述扩散板上所述通孔的分布密度均能够对应与分布在所述扩散装置入气侧的气体的分布密度相适配，以使通过所述扩散装置的气体均匀输出；每个所述扩散板均包括多个子扩散板，多个所述子扩散板能够拼接形成整个所述扩散板，每个所述子扩散板均能拆卸；每个所述扩散板的多个所述子扩散板分别位于相互平行的不同平面上，且多个所述子扩散板在平行于其所在平面的一个平面上的正投影之间无缝拼接；其中，各个所述扩散板相互平行，任意相邻两个所述扩散板中的所述通孔的位置相对应；或者，各个所述扩散板相互平行，任意相邻两个所述扩散板中的所述通孔的位置相互错开。