[发明专利]一种用于真空紫外激光的透射式分光聚焦系统

摘要

本发明提出的一种用于真空紫外激光的透射式分光聚焦系统，属于光束分光聚焦技术领域，该系统由三块或四块凸透镜和一个光阑组成，各凸透镜和光阑均垂直于光路且共光轴设置；其中，第一凸透镜、第二凸透镜前后排列于光阑同一侧，其余凸透镜位于光阑另一侧。本系统对四波混频产生的真空紫外激光(VUV)光源进行分光和聚焦，对基频光的分光率达到99.99％以上，VUV光(125nm‑150nm)的总透过率可达到10％以上。在聚焦时，还可采用高精度非球面凸透镜抵消球差，使本系统达到衍射极限，从而实现亚微米光斑聚焦。

主权项

1.一种用于真空紫外激光的透射式分光聚焦系统，其特征在于，由三块凸透镜和一个光阑组成，各凸透镜和光阑均垂直于光路且共光轴设置；其中，从物侧到像侧依序为第一凸透镜、第二凸透镜、光阑和第三凸透镜；令第一和第二凸透镜之间的距离、第二凸透镜和光阑之间的距离、光阑和第三凸透镜之间的距离分别为L1、L2、L3，令第一、第二、第三凸透镜在真空紫外激光波段的的焦距分别为f1、f2、f3，则各元件的参数满足以下公式：1.5×(f1+f2)＞L1＞f1+f2     (1)L1＞2f1      (2)f2≥f1          (3)L3＞f3         (5‑1)所述第三凸透镜的工作距离WD按照公式(6)计算：