[发明专利]一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器

摘要

本发明涉及一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括：压电基片、设置于压电基片上的第一延迟线及第二延迟线、相移器、放大器、混频器及设置于第二延迟线的叉指换能器之间的磁致伸缩合金薄膜。其中，该声表面波电流传感器还包括覆盖于压电基片表面的SiO₂薄膜。本发明通过采用一种平行同向设置的双延迟线型结构，具有较高的检测灵敏度、良好的温度稳定性及易实施性，有效地解决了目前电流传感器存在的检测灵敏度低、检测精度低、稳定性差及不易实施的问题。

主权项

1.一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，所述声表面波电流传感器包括压电基片、设置于压电基片上的第一延迟线及第二延迟线、相移器、放大器、混频器及磁致伸缩合金薄膜，第一延迟线包括第一叉指换能器和第二叉指换能器，第二延迟线包括第三叉指换能器和第四叉指换能器，磁致伸缩合金薄膜设置于第二延迟线的两个叉指换能器之间；其中：第一延迟线、第二延迟线分别构成第一振荡环路和第二振荡环路的一部分；第一振荡环路和第二振荡环路的输出经所述混频器混频；其中，在外部电流产生磁场的作用下，磁致伸缩合金薄膜发生磁致伸缩应变和ΔE效应，使得薄膜尺寸和弹性模量发生改变，导致声表面波延迟线振荡频率发生变化，进而使得混频输出频率发生改变；所述第一延迟线的第一叉指换能器采用梳状结构，所述第一叉指换能器上的梳齿与所述第二延迟线的第三叉指换能器上的梳齿之间的中心间距与所述第二叉指换能器的长度相等，所述第一叉指换能器与所述第二叉指换能器之间的中心间距与所述第一叉指换能器的长度相同，所述第二延迟线与所述第一延迟线具有相同的结构。