[发明专利]导电复合膜、包含此膜的陶瓷镀膜方法及其采用的设备在审
| 申请号： | 201710270596.0 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108728807A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 饶桥兵;廖鸿 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/02 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 郑隽;周晓艳 |
| 地址： | 410311 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种导电复合膜，包括依次设置的第一不活泼金属层、活泼金属层和第二不活泼金属层，中频电源在相应靶表面激发产生氩等离子体，氩离子轰击相应靶，在待镀膜产品上形成相应的膜层，结构精简、制备方法精简以及与陶瓷贴合性能好。本发明还提供一种陶瓷镀膜产品的陶瓷镀膜方法，包括在陶瓷上镀上述的导电复合膜，还包括装夹步骤、抽真空步骤、等离子体预处理步骤以及卸夹步骤，工艺精简、工艺参数容易控制以及性能好的陶瓷镀膜产品。本发明还提供一种用于上述镀膜方法的装置，各部件容易获得，且操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷镀膜 导电复合膜 活泼金属 陶瓷 等离子体预处理 氩等离子体 氩离子轰击 镀膜产品 依次设置 中频电源 靶表面 抽真空 镀膜 膜层 贴合 装夹 制备 激发 | ||
【主权项】：
1.一种导电复合膜，其特征在于：包括依次设置的第一不活泼金属层、活泼金属层和第二不活泼金属层，所述第一不活泼金属层的获得方法是：中频电源在不活泼金属靶表面激发产生氩等离子体，氩离子轰击不活泼金属靶，在待镀膜产品上形成第一不活泼金属层；所述活泼金属层的获得方法是：中频电源在活泼金属靶表面激发产生氩等离子体，氩离子轰击活泼金属靶，在第一不活泼金属层上形成活泼金属层；所述第二不活泼金属层的获得方法是：中频电源在不活泼金属靶表面激发产生氩等离子体，氩离子轰击不活泼金属靶，在所述活泼金属层上形成第二不活泼金属层。
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