[发明专利]一种纳米薄膜的制备方法

摘要

本发明公开一种纳米薄膜的制备方法。将镧盐、钴盐和锰盐与乙二醇与甲醚的混合溶液混合搅拌，加入乙酰丙酮，以单晶Si为衬底，在衬底上沉积薄膜，将薄膜用快速热处理系统氧气气氛下退火，升温至700‑800℃，在700‑800℃时长150‑250s；重复步骤2和3至10‑20次使得薄膜厚度达到一百纳米以上；将最终所得到的薄膜在RTP中，在700‑800℃时长850‑950s即得。本发明采用简易溶胶‑凝胶法制备纳米薄膜，具有溶胶‑凝胶的工艺优点和固态制冷技术的优点。绿色、低成本，高效率、低噪音，抗氧化、器件微型化，适用于工业生产。

主权项

1.一种纳米薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1.将镧盐、钴盐和锰盐按照摩尔比2:1:1混合，然后倒入到乙二醇与甲醚的混合溶液中，然后密封保存，将混合物搅拌400‑600min，形成镧盐、钴盐和锰盐总浓度为0.15‑0.25mol/l呈透明清晰的溶胶，加入乙酰丙酮，室温静置老化70‑80小时；2.以单晶Si为衬底，在衬底上沉积薄膜，慢速350‑450r/min时长15‑20s，快速3800‑4200r/min时长40‑60s，薄膜在衬底上旋涂甩膜沉积，烘烤温度250‑300℃时长1‑3min；3.将步骤2所得初始衬底薄膜用快速热处理系统氧气气氛下退火，按照升温速率100‑200℃/s，升温至700‑800℃，在700‑800℃时长150‑250s，气体流量0.3‑0.5L/min；4.重复步骤2和3至10‑20次使得薄膜厚度达到一百纳米以上；5.将步骤4最终所得到的薄膜在RTP中，在700‑800℃时长850‑950s，气体流量0.3‑0.5L/min即得；所述步骤3和步骤5的薄膜生长气氛均为氧气气氛；所述镧盐、钴盐和锰盐分别为分析纯的La(NO₃)₃·5H₂O、Co(NO₃)₂·4H₂O和Mn(CH3COO)₂，乙二醇与甲醚的混合溶液中乙二醇与甲醚的体积比为6：4，搅拌采用磁力搅拌或者机械搅拌；所述乙酰丙酮的加入量为质量分数0.05‑0.15％。