[发明专利]基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法在审
| 申请号： | 201710271371.7 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN107121113A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 吴国涛 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司31203 | 代理人： | 顾雯 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法，包括首先将待检测元件放置于三坐标同一稳定环境中，放置8小时以上，然后对待检测元件进行清洁，将清洁后的待检测元件放置于三坐标的工作台上，在三坐标内导入待检测元件理论模型，建立测针测量路径对待检测元件进行测量。本发明测量误差小于(0.4+L/1000)μm。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 标的 口径 复杂 自由 曲面 元件 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法，其特征在于，包括：首先将待检测元件放置于三坐标同一稳定环境中，放置8小时以上，然后对待检测元件进行清洁，将清洁后的待检测元件放置于三坐标的工作台上，在三坐标内导入待检测元件理论模型，建立测针测量路径对待检测元件进行测量，其中：测针的测杆直径为2.0mm，有效工作长度为15mm，测针总长度为25mm，测球直径为3mm，测针的测力为100mN。
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