[发明专利]原位时间分辨光栅衍射效率光谱测量装置和方法有效
| 申请号： | 201710271676.8 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN107063456B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 邵建达;刘世杰;王圣浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置和方法，测量装置包括超连续谱激光器、声光滤波器、光阑、偏振片、分束器、待测光栅、参考光高速探测器、聚焦透镜、积分球、测试光高速探测器和快电子学组件。超连续谱激光器和声光滤波器用于产生单色光束，参考光高速探测器用于测量参考光束的强度，积分球和测试光高速探测器用于测量衍射光束的强度，快电子学组件用于数据采集和数据处理。本发明在测量过程中，仪器的所有机械部件始终保持静止，光栅衍射效率光谱的测量速度因而得到了大大的提高，可实现原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅衍射效率 高速探测器 原位时间分辨 测量 光谱 声光滤波器 测量装置 超连续谱 快电子学 激光器 参考光 测试光 积分球 数据采集和数据处理 光谱测量装置 参考光束 测量过程 单色光束 机械部件 聚焦透镜 衍射光束 光栅 分束器 偏振片 光阑 静止 | ||
【主权项】：
1.一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置，其特征在于，包括超连续谱激光光源(1)、滤波器(12)、光阑(3)、偏振片(4)、分束器(5)、参考光高速探测器(13)、待测光栅(9)、聚焦透镜(14)、积分球(15)、测试光高速探测器(16)和快电子学组件(17)；沿所述的超连续谱激光光源(1)的光束出射方向依次放置所述的滤波器(12)、光阑(3)、偏振片(4)和分束器(5)，该分束器(5)将入射光束分为反射光束和透射光束，该反射光束作为参考光束，在该参考光束传播方向是所述的参考光高速探测器(13)，所述的透射光束作为测试光束，在该测试光束传播方向是待测光栅(9)，测试光束经所述衍射光栅(9)衍射后，入射到所述的聚焦透镜(14)，经该聚焦透镜(14)聚焦后，射入所述的积分球(15)后，漫反射光被所述的测试光高速探测器(16)接收，该测试光高速探测器(16)的输出端与所述的快电子学组件(17)的第一输入端相连，所述的参考光高速探测器(13)的输出端与所述的快电子学组件(17)的第二输入端相连，所述的滤波器(12)的输出端与所述的快电子学组件(17)的第三输入端相连。
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