[发明专利]一种窄带滤光片及其制备方法有效
申请号: | 201710272067.4 | 申请日: | 2017-04-24 |
公开(公告)号: | CN106990466B | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 乔冠军;李媛媛;侯海港;刘桂武;王明松;邵海成 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种红外滤光片生产技术,具体涉及一种CO | ||
搜索关键词: | 一种 窄带 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种窄带滤光片,采用单晶Si作基板;双面抛光,镀膜材料选择SiO和单晶Ge,在基板两个表面上分别沉积主膜系和干涉截止膜系;其特征在于:在基板其中一个表面上沉积主膜系,其结构为Air/1.576H 1.7L 4H L H L H L 4H L H L H L 4H L 0.386H 1.682L/Sub;在基板另外一个表面上沉积干涉截止膜系,其结构为Sub/1.86H 1.56L 0.82H 0.71L0.21H 0.72L 1.79H 0.45L 1.86H 0.82L 1.79H 1.17L 1.71H 2.30L 1.81H 2.14L 2.11H1.76L 2.40H 2.25L 3.17H 2.36L 2.41H 2.64L 2.12H 2.14L 2.31H 2.22L/Air;膜系中符号含义分别为:Sub为基板,Air为空气,H和L分别代表高折射率材料膜层Ge和低折射率材料膜层SiO的一个1/4波长光学厚度,中心波长λ=2780nm,1H=(4n
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