[发明专利]一种光电子器件频率响应的测试装置与方法有效

专利信息
申请号: 201710272509.5 申请日: 2017-04-24
公开(公告)号: CN107085142B 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 张尚剑;王恒;邹新海;姬在文;刘俊伟;张雅丽;刘永 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01R23/14 分类号: G01R23/14
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 杨保刚
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供了一种光电子器件频率响应的测试装置与方法。本发明由可调谐激光器、外差仪、待测光‑电器件、频谱分析与数据处理模块依次级联组成,其中外差仪由移频模块与待测电‑光器件组成的电‑光器件测试臂和辅助调制模块与待测光‑光器件组成的光‑光器件测试臂构成,同时第一信号源连接在待测电‑光器件的驱动电极上,第二信号源连接在辅助调制模块的驱动电极上;设置第一信号源和第二信号源输出正弦微波信号的频率关系,通过频谱分析与数据处理模块测得对应频率的功率比值,获得待测电‑光器件、待测光‑光器件和待测光‑电器件的频率响应值,且各器件之间相互不影响,实现一个系统中多种器件的频率响应自校准测试。
搜索关键词: 一种 光电子 器件 频率响应 测试 装置 方法
【主权项】:
1.一种光电子器件频率响应的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)构建一种光电子器件频率响应的测试装置;构造一个由电‑光器件测试臂和光‑光器件测试臂组成的外差仪,其中电‑光器件测试臂由移频模块与待测电‑光器件级联组成,光‑光器件测试臂由辅助调制模块与待测光‑光器件级联组成;将第一信号源接入待测电‑光器件的驱动电极上,第二信号源接入辅助调制模块的驱动电极上;将可调谐激光器、外差仪、待测光‑电器件和频谱分析与数据处理模块依次级联;(2)可调谐激光器输出的光信号进入外差仪后分为两路,一路光信号在移频模块中被移频ωs,然后在待测电‑光器件中被第一信号源输出的角频率为ωm的正弦微波信号进行相位和强度调制;另一路光信号在辅助调制模块中被第二信号源输出的角频率为ωl的正弦微波信号进行双边带调制,然后在待测光‑光器件中进行光滤波;得到外差仪输出合路光信号的光场;(3)将外差仪输出的合路光信号送入待测光‑电器件中光电转换后形成电信号,将转化后的电信号通过频谱分析与数据处理模块,测量获得ωm,ωl和ωs的线性组合频率的幅度值;(4)设置频率ωm≈2ωl>>ωs,则获得待测电‑光器件的频响值:若待测电‑光器件为电光强度调制器时,则获得电光强度调制器调制系数,若待测电‑光器件为电光相位调制器时,则获得电光相位调制器调制系数;设置ωl≈2ωm>>ωs时,则得到光‑光器件测试臂的频响值;设置ωm≈ωl>>ωs时,得到待测光‑电器件频响值。
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