[发明专利]一种坩埚轴升降装置有效
| 申请号： | 201710272634.6 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108728896B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 赵向阳;陈强;肖祥凯 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种坩埚轴升降装置，用于驱动坩埚轴进行升降运动，所述升降装置包括：一驱动部件、一底盘以及至少两个升降部件，所述驱动部件与所述至少两个升降部件连接，用于驱动所述至少两个升降部件；所述至少两个升降部件与所述底盘连接，用于驱动所述底盘进行升降运动；所述底盘，用于与坩埚轴连接。在本发明提供的坩埚轴升降装置中，利用至少两个升降部件来驱动坩埚轴的上升或下降，从而使坩埚轴在驱动过程中更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 升降 装置 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚轴升降装置，用于驱动坩埚轴进行升降运动，其特征在于，所述升降装置包括：一驱动部件、一底盘以及至少两个升降部件，所述驱动部件与所述至少两个升降部件连接，用于驱动所述至少两个升降部件；所述至少两个升降部件与所述底盘连接，用于驱动所述底盘进行升降运动；所述底盘，用于连接坩埚轴。
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