[发明专利]一种离子注入终端装置

摘要

本发明公开了一种离子注入终端装置，包括：靶室主腔体、旋转靶台、过渡腔体、移动屏蔽筒、多工位旋转把盘，所述靶室主腔体能够为旋转靶台提供支撑，能够为整个系统提供真空的条件；所述旋转靶台能够实现靶片的角度注入及轴线旋转注入；所述过渡腔体能够为移动屏蔽筒提供支撑；所述移动屏蔽筒能够实现过扫板及屏蔽筒的垂直方向运动，能够对位置进行精确控制；所述多工位旋转把盘能够实现不同工位的切换。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

主权项

1.一种离子注入终端装置，包括靶室主腔体(1)、旋转靶台(2)、过渡腔体(3)、移动屏蔽筒(4)、多工位旋转把盘(5)，其特征在于：该离子注入终端装置能够提供多工位离子注入，并且其靶盘可绕中心轴旋转，极大的提高了离子注入设备的均匀性；该离子注入终端装置能够实现不同角度的离子注入，并且具有可移动的过扫板和屏蔽筒，能够有效的减少二次电子的产生，极大的提高了剂量检测的准确性。