[发明专利]基于变刚度柔性结构的磁辅助激励精密驱动工作台

摘要

本发明公开了一种基于变刚度柔性结构的磁辅助激励精密驱动工作台，包括底座和工作台，底座上设置有直线导轨，直线导轨上装配有两个滑块，每个滑块和工作台之间均装有柔性体，柔性体包括通过V型铰接板连接的U型框架和矩形块，U型框架上开有螺栓孔a，U型框架与滑块通过穿过螺栓孔a的螺栓连接，矩形块上开有螺栓孔b，矩形块与工作台通过穿过螺栓孔b的螺栓连接，矩形块上装有永磁磁铁，U型框架上装有电磁激励装置，永磁磁铁和电磁激励装置相对设置。本发明磁辅助激励精密驱动工作台，解决了滚柱/滚珠式精密驱动工作台的预滚滑摩擦扰动问题，并在保证精度的前提下有效降低系统能耗和抑制工作台的残余振动，提升了工作台系统的动态稳定性。

主权项

1.基于变刚度柔性结构的磁辅助激励精密驱动工作台，包括底座(10)和工作台(1)，底座(10)上依次平行设置有直线导轨(8)、直线电机(9)、用于定位支撑直线电机(9)的支撑板(11)、侧挡板(12)，直线导轨(8)上装配有两个滑块(7)，每个滑块(7)和工作台(1)之间均装有柔性体(4)，其特征在于，柔性体(4)包括通过V型铰接板(24)连接的U型框架和矩形块，U型框架上开有螺栓孔a(22)，U型框架与所述滑块(7)通过穿过螺栓孔a(22)的螺栓连接，矩形块上开有螺栓孔b(23)，矩形块与所述工作台(1)通过穿过螺栓孔b(23)的螺栓连接，矩形块上装有永磁磁铁(21)，U型框架上装有电磁激励装置(15)，永磁磁铁(21)和电磁激励装置(15)相对设置；所述滑块(7)为滚珠式滑块或者滚柱式滑块。