[发明专利]一种非晶硅平板探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种非晶硅平板探测器及其制备方法，包括于基板上制备图像传感器阵列，在图像传感器阵列上形成平坦化的聚焦微透镜材料层；于聚焦微透镜材料层上形成光刻胶层；对光刻胶层曝光、显影，形成光刻胶阵列，光刻胶阵列中的各光刻胶单元与图像传感器阵列中的各像素单元一一对应；通过热熔使各光刻胶单元形成球冠状；通过刻蚀将球冠状转移到聚焦微透镜材料层上，形成聚焦微透镜阵列；于聚焦微透镜阵列上形成闪烁体层。通过聚光作用，使得更多的光束进入到图像传感器的光敏区，从而提高图像传感器阵列的光收集效率，提高非晶硅平板探测器的灵敏度；同时，通过会聚作用降低相邻像素之间光串扰，提高非晶硅平板探测器的空间分辨率。

主权项

一种非晶硅平板探测器，其特征在于，所述非晶硅平板探测器至少包括：闪烁体，用于将接收到的X射线转化为可见光；聚焦微透镜阵列，位于所述闪烁体的下层，用于会聚从所述闪烁体出射的杂散可见光；图像传感器阵列，位于所述聚焦微透镜阵列的下方，用于检测入射的可见光，并产生相应的电信号；所述聚焦微透镜阵列中的各聚焦微透镜与所述图像传感器阵列中的各像素单元一一对应。