[发明专利]一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺有效

专利信息
申请号: 201710278405.5 申请日: 2017-04-25
公开(公告)号: CN106940456A 公开(公告)日: 2017-07-11
发明(设计)人: 李毅桢;聂小飞;叶忠海;谢志高;唐甫星;王维;张强;闵丹丹;蒋连林;牟联伟 申请(专利权)人: 舜宇光学(中山)有限公司
主分类号: G02B1/115 分类号: G02B1/115;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/06
代理公司: 中山市兴华粤专利代理有限公司44345 代理人: 吴剑锋;邹涛
地址: 528400 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺,大张角玻璃镜片的减反膜,包括设置在大张角玻璃镜片表面的减反膜,所述减反膜为八层的多层膜结构,其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层。所述高折射率膜层为五氧化三钛膜层;低折射率膜层为氟化镁膜层或二氧化硅膜层。一种大张角玻璃镜片的减反膜的制作工艺,包括以下步骤:步骤一,采用行星镀膜机台进行镀膜加工,在镀膜真空室镀膜前,使用高能离子源进行清洁处理60秒;步骤二,镀第一膜层时,镀膜压力为2.0*10‑2Pa,镀膜速率为镀膜时间为117~120秒;所述第一膜层为五氧化三钛膜层。本发明具有膜层均匀性一致,且凹面边缘膜强度佳的特点。
搜索关键词: 一种 张角 玻璃 镜片 减反膜 及其 制作 工艺
【主权项】:
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