[发明专利]柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法有效
| 申请号： | 201710281202.1 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN107034452B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 徐铭泽;王洋;李金华;楚学影;金芳军;徐英明;魏志鹏;方铉;王晓华 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法属于光电器件制作技术领域。现有物理方法制作成本高。本发明其特征在于：步骤1，配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7～5):(2.8～3)，掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为1～3％而定，至此获得可旋涂溶胶；步骤2，制作溶胶膜，将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上，在3000～3500rad/min的速度下旋涂20～30s，在70～90℃温度下加热10～15m，获得溶胶膜；步骤3，形成产物薄膜，将所述溶胶膜在240～260℃温度下退火25～35m，获得柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 旋涂 透明导电薄膜 掺杂型 溶胶膜 制作 掺杂物质 硝酸锌 乙酸锌 退火 产物薄膜 单乙醇胺 工艺条件 光电器件 乙酰丙酮 有机溶剂 杂质离子 摩尔比 锌离子 衬底 滴加 加热 配制 | ||
【主权项】：
1.一种柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于：步骤1，配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7～5):(2.8～3)，掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子的摩尔浓度为1～3％而定，至此获得可旋涂溶胶；所述掺杂物质为硝酸铝或者氟化铵；步骤2，制作溶胶膜，将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上，所述柔性衬底为耐高温PET膜，在3000～3500rad/min的速度下旋涂20～30s，在70～90℃温度下加热10～15m，获得溶胶膜；步骤3，形成产物薄膜，将所述溶胶膜在240～260℃温度下退火25～35m，获得柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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