[发明专利]螺旋盘形分布功能层的光电探测器

摘要

本申请提供了一种新结构的光电探测器，其中包括螺旋盘形的p型AlGaAs层，并且所述螺旋盘形的空隙也是螺旋盘形且两者互补，在所述p型AlGaAs层螺旋盘形的空隙中形成n型GaAs层，光通过侧面进入功能层，由于存在多个p型AlGaAs和n型GaAs的结，能够使得照射入的光经过多个pn结，提高了探测器的效率，充分利用照射到的光，使得传感器的灵敏度得到很大的提升。

主权项

1.一种螺旋盘形分布功能层的光电探测器，其特征在于，包含：绝缘性基板；基板上形成螺旋盘形的p型AlGaAs层，并且所述螺旋盘形的空隙也是螺旋盘形且两者互补，在所述p型AlGaAs层螺旋盘形的空隙中形成n型GaAs层；所述p型AlGaAs层和所述n型GaAs层在一层内，且形成光电探测器的功能层；在所述p型AlGaAs层和所述n型GaAs层上方分别形成对应的螺旋盘形细栅线；形成细栅线后在上表面形成氟化镁层；探测时，光从侧面进入所述功能层。