[发明专利]硅量子点增强的氧化锌紫外探测器

摘要

本发明提供了一种硅量子点增强的氧化锌紫外探测器，包含：硅基板、氢化非晶硅层、多孔状氧化锌层、孔的内壁上形成硅量子点，形成硅量子后通过溶胶凝胶法在孔内填充氧化锌凝胶，并热处理使多孔氧化锌的孔被氧化锌封闭，形成硅量子点增强的氧化锌光活性层，形成硅量子点增强的氧化锌紫外探测器，能够提升紫外探测器的效率，充分利用照射到的光，使得传感器的灵敏度得到很大的提升。

主权项

1.一种硅量子点增强的氧化锌紫外探测器，其特征在于，包含：硅基板；硅基板上形成一层氢化非晶硅层；所述氢化非晶硅层上形成多孔状氧化锌层，所述孔的孔径范围为50‑600μm；所述孔的内壁上通过浸泡包含硅量子点的溶液使孔的内壁上形成硅量子点，浸泡过后的基板经过旋转基板去除多余的硅量子点溶液；形成硅量子后通过溶胶凝胶法在孔内填充氧化锌凝胶，并热处理使多孔氧化锌的孔被氧化锌封闭，形成硅量子点增强的氧化锌光活性层；所述光活性层上的透明导电氧化物层；以及硅基板另一侧的金属电极。