[发明专利]光刻的显影辅助方法及其设备在审
| 申请号： | 201710283921.7 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN107092168A | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚;杨档;王仁松;张若天;彭明行 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/38 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻的显影辅助方法及其设备，所述方法包括获取基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值；将非接触式加热装置移动至基板的所述区域，根据所述数值设置加热温度和加热时间对所述基板进行局部加热，以对基板上的光刻胶的显影进行热补偿；对所述光刻胶进行显影。本发明通过对基板存在光刻线宽异常的区域进行局部加热，起到对基板和光刻胶的热补偿作用，减少补偿处光刻胶中溶剂的含量，从而改变光刻胶曝光显影特性，最终实现改善线宽均一性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 显影 辅助 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
一种光刻的显影辅助方法，包括：获取基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值；将非接触式加热装置移动至基板的所述区域，根据所述数值设置加热温度和加热时间对所述基板进行局部加热，以对基板上的光刻胶的显影进行热补偿；对所述光刻胶进行显影。
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