[发明专利]一种用于制备CVDZnS的沉积箱装置有效
| 申请号： | 201710287387.7 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107119324B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 姜杰;子光平;夏青松;王侃;吴绍华;应飞飞;缪彥美;张明;朱凯;郭晨宇 | 申请（专利权）人： | 云南北方驰宏光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/48 | 分类号： | C30B29/48;C30B25/00 |
| 代理公司： | 北京市金栋律师事务所 11425 | 代理人： | 朱玲 |
| 地址： | 655000 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制备CVDZnS的沉积箱装置，包括，沉积箱体竖直安装在齿轮转动机构的从动轮轮辐面位置上，与沉积箱体的底部固定连接，电机带动皮带轮转动机构的传动轮旋转，通过传动杆传给炉体内沉积箱体的齿轮转动机构，齿轮转动机构的从动轮在主动轮的带动下匀速转动，位于其上的沉积箱体随之旋转，喷嘴托盘在整个沉积过程中保持不动。可在沉积过程中边沉积边旋转，避免因气流分布不均造成沉积均匀性差的问题，提高CVDZnS的沉积均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 齿轮转动机构 沉积均匀性 沉积箱 从动轮 制备 电机带动皮带轮 气流分布 竖直安装 匀速转动 转动机构 托盘 喷嘴 传动杆 传动轮 轮辐面 主动轮 体内 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备CVDZnS的沉积箱装置，包括沉积箱体、喷嘴托盘、齿轮转动机构、磁流体密封装置、皮带轮转动机构，其特征在于：沉积箱体竖直安装在齿轮转动机构的从动轮轮辐面位置上，与沉积箱体的底部固定连接，电机带动皮带轮转动机构的传动轮旋转，通过传动杆传给炉体内沉积箱体的齿轮转动机构，齿轮转动机构的从动轮在主动轮的带动下匀速转动，位于其上的沉积箱体随之旋转，喷嘴托盘在整个沉积过程中保持不动。
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