[发明专利]一种探测器串音测试装置、其制作方法及串音测试方法在审
| 申请号： | 201710287481.2 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107271042A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 侯治锦;司俊杰;王巍;鲁正雄 | 申请（专利权）人： | 中国空空导弹研究院 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司41119 | 代理人： | 陈浩 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探测器串音测试装置、其制作方法及串音测试方法，在基片上制作至少一个最小单元图形，所述最小单元图形包括中心探测单元和设置在中心探测单元周围的外围探测单元，外围探测单元为不透光，中心探测单元为透光；将制作好的探测器串音测试装置放置在焦平面探测器的前面，使中心探测单元与焦平面探测器的光敏元对准；采用黑体进行测试，根据各光敏元的电压响应值计算焦平面探测器的串音。本发明适用于小像元焦平面探测器的串音，解决了传统小光点测试法不适用于小像元探测器串音的难题，使用本发明测试探测器的串音时，只有最单元图形的中心探测单元有响应，使探测器串音很容易获得。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探测器 串音 测试 装置 制作方法 方法 | ||
【主权项】：
一种探测器串音测试装置的制作方法，其特征在于，步骤如下：1)利用光刻工艺在基片上制作至少一个最小单元图形，所述最小单元图形包括中心探测单元和设置在中心探测单元周围的外围探测单元；2)对所述最小单元图形的外围探测单元镀不透光层，以使外围探测单元为不透光，中心探测单元为透光，以形成探测器串音测试装置。
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