[发明专利]照明装置及照明方法和一种光刻机有效
| 申请号： | 201710288055.0 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108803244B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 田毅强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种照明装置，包括光源和匀光系统，所述匀光系统设置在所述光源的光轴上，所述光源出射的光束经过所述匀光系统成像在掩模上；所述光源包括LED阵列和光源控制器，所述光源控制器根据光瞳能量分布需求分别控制所述LED阵列中每个LED光源出射的光束与光源光轴的倾斜角度。所述照明装置通过改变每个LED光源出射光束与光源光轴的倾斜角，即可在光瞳面的不同位置得到所需的能量分布，实现对应的离轴照明模式。本发明还公开了一种照明方法，用于上述照明装置，实现离轴照明方法，操作简单，准确度高。本发明还公开了一种光刻机，包括上述照明装置，提高了光刻机投影物镜的焦深，提高了光刻机的光刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 装置 方法 一种 光刻 | ||
【主权项】：
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