[发明专利]一种带材真空等离子体镀膜系统

摘要

本发明公开了一种带材真空等离子体镀膜系统，真空获得系统通过真空连接管道与若干连续式镀膜室连接；连续式镀膜室包括位于连续式镀膜室内部的放卷装置、收卷装置和发热管机构，位于连续式镀膜室侧壁上的进出气混气装置和过滤阴极靶发生装置；真空连接管道上设有第一阀门和第二阀门，第一阀门位于真空获得系统出口处，第二阀门位于真空连接管道与连续式镀膜室连接处的上方。本发明的带材真空等离子体镀膜系统设计科学合理，工作稳定不会走偏，提高自动化程度同时也大大提高产品的质量，提高了生产效率，创造更高的经济效益。

主权项

1.一种带材真空等离子体镀膜系统，包括真空获得系统、若干真空连接管道和若干圆形结构或椭圆形结构的连续式镀膜室，真空获得系统通过真空连接管道与连续式镀膜室连接；其特征在于：所述连续式镀膜室包括放卷装置、收卷装置、发热管机构、进出气混气装置和设置在阴极靶上的过滤阴极靶发生装置，所述阴极靶放置于带材的平面下面，所述放卷装置、收卷装置和发热管机构位于连续式镀膜室内部，进出气混气装置和过滤阴极靶发生装置位于连续式镀膜室侧壁上；一个真空获得系统通过真空连接管道与两个连续式真空镀膜室连接，所述真空连接管道上设有第一阀门和第二阀门，第一阀门位于真空获得系统出口处，第二阀门位于真空连接管道与连续式镀膜室连接处的上方；所述过滤阴极靶发生装置采用尖端弧光放电的原理，靶阴极靶材表面点燃并表面汽化，阴极靶表面的弧电源通过通入电流维持阴极靶的连续工作，在四周设置线圈，线圈通入经过变压的电流，形成电磁场，使阴极靶表面汽化的形成的等离子体经过所形成的电磁场进行过滤大液滴，小液滴即喷射出去，镀到带材或工件上面，形成膜层；所述真空连接管道上还设有可调式百叶窗和固定百叶窗的连接真空管道，可调式百叶窗上设有调节电机，调节电机与可调式百叶窗连接；固定百叶窗的连接真空管道位于真空连接管道的阀门旁；所述进出气混气装置包括球状密封外壳，位于球状密封外壳上的连接工艺气体混合的进气管、球状分气球一、球状分气球二和混合气出气管；所述进出气混气装置采用多路进气到一个带孔的球状容器里，通过气体的碰撞，相互混合，经过多个带孔的球状容器相互混合，达到气体按比例充分均匀，然后通入到连续式真空镀膜室里面，再参加反应和镀膜。