[发明专利]水溶性负性电子束光刻胶及其成像方法有效
| 申请号： | 201710289193.0 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106959584A | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 翁雨燕;陈高健;李志运 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了水溶性负性电子束光刻胶及其成像方法，首次提出了含有羟基侧链的水溶性聚合物在电子束光刻系统中的应用，试制出了具有高分辨率的环保型电子束光刻胶。本发明提供了一种负性光刻胶及其制备方法、使用方法，完全以水作为光刻胶的溶剂和显影液，对环境和人体完全无污染，其具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 水溶性 电子束光刻 及其 成像 方法 | ||
【主权项】：
水溶性负性电子束光刻胶，其特征在于，包括：a，用于电子束下自交联的水溶性聚合物，其侧链具有羟基；b，溶剂：水。
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