[发明专利]与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物在审
| 申请号： | 201710289617.3 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107422607A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 李晶真;林载峰;尹准汉;姜智熏 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/16;C09D175/06;C09D7/12 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司11280 | 代理人： | 徐舒 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供与外涂布光致抗蚀剂一起使用的有机涂料组合物，确切地说抗反射涂层组合物，其包含热酸产生剂，所述热酸产生剂包含i)具有一或多个选自任选经取代的烷基和任选经取代的杂烷基的环取代基的吡锭组分；和ii)磺酸组分。 | ||
| 搜索关键词： | 外涂布光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
一种形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法，其包含：a)在衬底上涂覆包含以下的组合物层：1)树脂；和2)包含以下的热酸产生剂：i)具有一或多个选自任选经取代的烷基和任选经取代的杂烷基的环取代基的吡锭组分；和ii)磺酸组分；以及b)将光致抗蚀剂组合物层涂覆于所述组合物层上。
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