[发明专利]喷嘴单元以及包括其的涂布装置有效
| 申请号： | 201710291276.3 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107335553B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张柱镛 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B05B5/03 | 分类号： | B05B5/03;B05B5/053;B05B5/08;B05B5/16 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一个实施方式包括涂布装置，所述涂布装置包括：支撑单元，用于支撑涂布对象；以及喷射组件，用于喷射流体，所述流体包括待涂布在所述支撑单元上所支撑的涂布对象上的涂布材料。喷射组件包括：喷嘴单元，经由所述喷嘴单元喷射流体；和流体供应单元，用于将流体供应到喷嘴单元。喷嘴单元包括：主体，其包括用于主体中的流体的通道和设置有介电材料的介电单元；和等离子体源，用于从流到与介电单元的内侧表面邻近的区域的流体产生等离子体。等离子体源包括：施加电力的功率电极；和用于接地的地电极。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 单元 以及 包括 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，包括：支撑单元，用于支撑涂布对象；以及喷射组件，用于喷射流体，所述流体包括待涂布在所述支撑单元上所支撑的所述涂布对象上的涂布材料，其中，所述喷射组件包括：喷嘴单元，经由所述喷嘴单元喷射流体；和流体供应单元，用于将流体供应到所述喷嘴单元，其中，所述喷嘴单元包括：主体，所述主体包括：用于主体中的所述流体的通道，和设置有介电材料的介电单元；和等离子体源，用于从流到与所述介电单元的内侧表面邻近的区域的流体产生等离子体，其中，所述等离子体源包括：施加电力的功率电极；和用于接地的地电极。
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