[发明专利]一种改进的单晶炉结构及其应用在审
申请号: | 201710293347.3 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN106987897A | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 时刚;武海军 | 申请(专利权)人: | 西安创联新能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710065 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种改进的单晶炉结构及其应用,包括一种改进的单晶炉结构,其包含一底座,该底座上设置有主炉室,所述主炉室的下方设置有下传动机构;炉盖,设置在主炉室的上方,炉盖上方设置有第一隔离阀以及炉盖处设置有炉盖提升机构;所述炉盖提升机构由液压油缸驱动,一立柱,该立柱设置在底座上,所述立柱的顶部设置有维修平台,其中间部分通过机架固定有副炉室,所述副炉室的底部设置有第二隔离阀,所述副炉室的上部设置有上传动机构。以及本发明还提供了一种应用,包含用于缩短晶棒生产周期的方法,通过对第一隔离阀和第二隔离阀的控制,配合移动加料器的应用,可以在冷却晶棒的同时实现二次加料和熔化,有效利用冷却晶棒的时间,从而提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 改进 单晶炉 结构 及其 应用 | ||
【主权项】:
一种改进的单晶炉结构,其特征在于,包括一底座,该底座上设置有主炉室,所述主炉室的下方设置有下传动机构;炉盖,设置在主炉室的上方,所述炉盖上方设置有第一隔离阀以及所述炉盖处设置有炉盖提升机构;所述炉盖提升机构由液压油缸驱动,一立柱,该立柱设置在底座上,所述立柱的顶部设置有维修平台,其中间部分通过机架固定有副炉室,所述副炉室的底部设置有第二隔离阀,所述副炉室的上部设置有上传动机构。
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