[发明专利]一种钙钛矿柔性光探测器及其制备方法

摘要

本发明一种钙钛矿柔性光探测器及其制备方法，包括如下步骤，步骤1，制备钙钛矿溶液；步骤2，在清洗干燥后的柔性基片上通过单向刮刀法制备钙钛矿薄膜，得到钙钛矿柔性薄膜；步骤3，将制备得到的钙钛矿柔性薄膜进行退火处理；步骤4，在退火后的钙钛矿柔性薄膜上蒸镀金电极，得到钙钛矿柔性光探测器。该薄膜相比较于传统旋涂法制备的钙钛矿薄膜，在性能上具有结晶质量高，晶界少，吸收波段宽，载流子寿命长，空气稳定好等优点，在制备技术上，成本低，生产工艺简单，能耗低而且能大规模生产。基于本发明的钙钛矿柔性光探测器具有十分优异的光探测率、光响应度、弯曲稳定性和器件寿命。

主权项

一种钙钛矿柔性光探测器制备方法，其特征在于，包括如下步骤，步骤1，制备钙钛矿溶液；步骤2，在清洗干燥后的柔性基片上通过刮刀法制备钙钛矿薄膜，得到钙钛矿柔性薄膜；首先，将清洗干燥后的柔性基片固定在热台的工作平面上，并在80‑140℃温度下预热5分钟；其次，固定刮刀并调节刮刀与水平基片夹角为30‑90°，调节刮刀和柔性基片之间狭缝距离保持固定；通过滴加钙钛矿溶液填充柔性基片和刮刀之间的狭缝；最后，在低于80％湿度的空气或者氮气环境下，控制热台温度在80‑140℃，以10‑50mm/min的速度单向水平移动刮刀，拖动钙钛矿溶液在柔性基片上成膜，得到纤维晶具有单晶性质的钙钛矿取向单晶纤维柔性薄膜，即所述的钙钛矿柔性薄膜；步骤3，将制备得到的钙钛矿柔性薄膜进行退火处理；步骤4，在退火后的钙钛矿柔性薄膜上蒸镀金电极，得到钙钛矿柔性光探测器。