[发明专利]一种纳米器件的制备方法有效
| 申请号： | 201710295872.9 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108793066B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 朱振东;李群庆;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种纳米器件的制备方法，包括：提供一第一基底；在所述第一基底表面沉积一金属膜，并对所述金属膜进行退火处理使其在该第一基底表面形成金属海岛结构；在形成有金属海岛结构的所述第一基底的表面铺设金属纳米球，所述第一基底、所述金属海岛结构及所述金属纳米球形成一复合结构，将所述复合结构铺设有金属纳米球的表面定义为第一表面，并烘烤所述复合结构；在所述复合结构的第一表面形成一光刻胶层；提供一第二基底，在所述第二基底表面形成一脱模剂层；及在真空环境下，将所述复合结构表面的光刻胶层和所述第二基底表面的脱模剂层压合在一起，分阶段升温，并在各个阶段对所述第一基底和所述第二基底施加电压，在第一基底表面形成分形纳米结构。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 复合结构 基底表面 金属纳米球 海岛结构 第一表面 光刻胶层 纳米器件 脱模剂层 金属膜 金属 制备 铺设 分阶段升温 表面定义 纳米结构 施加电压 退火处理 真空环境 烘烤 分形 压合 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种纳米器件的制备方法，其具体包括以下步骤：/n提供一第一基底；/n在所述第一基底表面沉积一金属膜，并对所述金属膜进行退火处理，所述金属膜在该第一基底的表面形成多个金属海岛结构；/n在形成有所述金属海岛结构的所述第一基底的表面铺设金属纳米球，所述第一基底、所述金属海岛结构以及所述金属纳米球形成一复合结构，将所述复合结构铺设有所述金属纳米球的表面定义为第一表面，并烘烤所述复合结构；/n在所述复合结构的第一表面形成一光刻胶层；/n提供一第二基底，在所述第二基底表面形成一脱模剂层；及/n在惰性气氛或真空环境下，将所述复合结构表面的光刻胶层和所述第二基底表面的脱模剂层压合在一起，分阶段对所述复合结构和所述第二基底进行加热，并在各个阶段对所述第一基底和所述第二基底施加电压，在所述第一基底的表面形成分形纳米结构，制备纳米器件。/n
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