[发明专利]片盒搬运机器人在审
| 申请号： | 201710295962.8 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108789423A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;许琦欣;杜荣;冯日盛;周红吉;李玲雨;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J19/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种片盒搬运机器人，包括自动导引小车和架设在所述自动导引小车上的外部框架，所述外部框架上设有片盒承载装置、搬运所述片盒的机械手以及若干减振组件，所述若干减振组件对称分布在所述外部框架与自动导引小车之间，这样在片盒搬运机器人的移动过程中，当受到撞击或者外力或者被突然停止时，减振组件可以减缓其突然停止的动作，防止位于片盒架中的晶圆被突然停止的动作而与片盒发生碰撞或者片盒从片盒架上甩出去，同时由于减缓了突然停止的动作，能有效降低因机械振动对机器人本体造成的疲劳和寿命缩短，提高系统的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 片盒 自动导引小车 减振组件 外部框架 搬运机器人 片盒架 机器人本体 搬运机器 承载装置 对称分布 机械振动 人本发明 移动过程 机械手 晶圆 搬运 架设 疲劳 | ||
【主权项】：
1.一种片盒搬运机器人，其特征在于，包括自动导引小车和架设在所述自动导引小车上的外部框架，所述外部框架上设有片盒承载装置、搬运所述片盒的机械手以及若干减振组件，所述若干减振组件对称分布在所述外部框架与自动导引小车之间。
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