[发明专利]一种掩膜组件及其组装方法有效
| 申请号： | 201710297505.2 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN106884140B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张微 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种掩膜组件及其组装方法，涉及蒸镀技术领域，相对现有技术，可提高第一支撑条的张网精度和遮挡精度。该掩膜组件包括：框架，框架具有中空区域；掩膜板，掩膜板跨设于框架的中空区域，且掩膜板的相对两端固定在框架上；第一支撑条，用于支撑掩膜板；第一支撑条包括层叠设置的第一子支撑条和第二子支撑条，第一子支撑条和第二子支撑条跨设于框架的中空区域，且第一子支撑条的相对两端和第二子支撑条的相对两端均固定在框架上；其中，所述第一子支撑条在所述第二子支撑条上的正投影位于所述第二子支撑条内；第二子支撑条的厚度小于第一子支撑条的厚度。用于掩膜组件中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 及其 组装 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜组件，其特征在于，包括:框架，所述框架具有中空区域；掩膜板，所述掩膜板跨设于所述框架的中空区域，且所述掩膜板的相对两端固定在所述框架上；第一支撑条，用于支撑所述掩膜板；所述第一支撑条包括层叠设置的第一子支撑条和第二子支撑条，所述第一子支撑条和所述第二子支撑条跨设于所述框架的中空区域，且所述第一子支撑条的相对两端和所述第二子支撑条的相对两端均固定在所述框架上；其中，所述第一子支撑条在所述第二子支撑条上的正投影位于所述第二子支撑条内；所述第二子支撑条的厚度小于所述第一子支撑条的厚度。
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