[发明专利]收窄的替位式掺杂原子尺度导线在审
| 申请号： | 201710298595.7 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108793062A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 邵诗婷 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82B1/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510631 广东省广州市天*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种收窄的替位式掺杂原子尺度导线、制备方法和应用领域。该原子尺度导线是在金属性质的碳基材料(金属性质的碳纳米管或金属性质的石墨烯纳米带)上，采用SPM和单离子注入技术替位式掺杂金属原子，形成宽度为原子量级的导线，可用于连接原子尺度的电子器件，作为原子量级线程的大规模集成电路的互连，制备相应的集成电路。 | ||
| 搜索关键词： | 金属性质 掺杂原子 原子尺度 原子量级 收窄 尺度 大规模集成电路 制备方法和应用 掺杂金属 电子器件 碳基材料 碳纳米管 单离子 纳米带 石墨烯 互连 可用 线程 制备 集成电路 | ||
【主权项】：
1.一种收窄的替位式掺杂原子尺度导线，为了连接原子尺度(一至几十原子大小)的器件，来制备相应的集成电路，需要宽度在原子量级的导线；技术方案是在金属性质的碳基材料(金属性质碳纳米管或金属性质石墨烯纳米带)上，替位式掺杂金属原子，形成宽度为原子量级的导线；其特征在于：在上述金属性质的碳基材料中，替位式掺杂金属原子沿着碳纳米管管轴或石墨烯纳米带纵向，在平行纵向对称轴的相邻1～5排晶列上每一晶胞内特定几个格点上周期性的进行掺杂形成原子尺度导线(几原子宽度)。
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